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廠商性質其他
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更新時間:2026-07-15 10:26:29瀏覽次數:31次
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經營模式:其他
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等離子清洗機機又叫等離子刻蝕機,等離子清洗系統等。等離子清洗,是干法刻蝕中見的一種形式能進行材料表面清洗、活化、刻蝕、涂覆,可應用于所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子刻蝕,等離子體鍍膜等
- 產品介紹 -
等離子清洗機機又叫等離子刻蝕機,等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講,等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。產品工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發生反應,反應的揮發性副產物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。
- 產品參數 -
- 設備優勢 -
> 電源:采用高壓激勵電源電路技術,產生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。
> 全面安全防護:溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種誤操作保護功能。
> 放電技術:特殊處理及特殊結構的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。
> 封性的真空體設計:級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,配置進口真空泵。
> 優質產品部件:產品全部部件采用國內外優質部件,確保設備性能。
> 超低清洗溫度:滿足不同場合溫度要求,不對清洗產品造成溫度影響。
> 精容數控加工:進口精密CNC數控機床加工工藝,并配備進口三坐標測量儀進行質量控。
> 適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產品,包括內孔內壁,均勻清洗。
微電子行業真空等離子機
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