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上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海
聯(lián)系方式：石查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-10-30 08:21:28瀏覽次數(shù)：47次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選。XY向壓電掃描臺(tái)是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的XY向壓電納米定位掃描臺(tái),壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦、無(wú)回差的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)
規(guī)格型號(hào)1 PK2L130-050U-S PK2L130-100U-S 公差8 運(yùn)動(dòng)軸 X、Y X、Y - 集成傳感器 SGS SGS - 標(biāo)稱行程范圍2（@0~+120V） 50 μm x 50 μm 100 μm x 100 μm ±10% 行程范圍2（@-20~+150V） 65 μm x 65 μm 130 μm x 130 μm ±20% 分辨率3 1.0 nm 2.0 nm typ. 最小移動(dòng)步長(zhǎng)4 2.0 nm 3.5 nm typ. 線性誤差 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 重復(fù)定位精度（全行程） 0.02%~0.05% 0.02%~0.05% typ. 角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)） 10 μrad 10 μrad typ. 承載能力5 20 N 20 N Max. 諧振頻率（0g） （XY）680 Hz （XY）630 Hz ±20% 運(yùn)動(dòng)方向剛度 3 N/μm 3 N/μm ±20% 運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 150N / 15N 150N / 15N ±20% 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) PZT PZT - 工作溫度范圍 -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 線纜長(zhǎng)度6 1.5 m 1.5 m ±10mm 中空尺寸 ?30 mm（標(biāo)準(zhǔn)型、可定制） ?30 mm（標(biāo)準(zhǔn)型、可定制） - 外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 130 × 130 × 30 mm 130 × 130 ×30 mm - 重量7 900 g 900 g ±5% PZT&Sensor連接器 LEMO LEMO - 本體材質(zhì) 鋁 鋁 - 注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測(cè)得，欲了解更多信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。 1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無(wú)線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。 2.驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V，更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。 3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測(cè)量和指定。 4.指通過(guò)干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長(zhǎng)值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。情況下，參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長(zhǎng)值。 5.軸向載荷，更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。 6.更長(zhǎng)的線纜長(zhǎng)度請(qǐng)咨詢。 7.臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。 8.公差中Max.表示值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。
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